ОБ ОСОБЕННОСТЯХ ФАЗОВОГО СОСТАВА ТИТАНОВЫХ И ХРОМОВЫХ ПОКРЫТИЙ, ПОЛУЧАЕМЫХ РЕАКТИВНЫМ НАПЫЛЕНИЕМ В СРЕДЕ АКТИВНЫХ ГАЗОВ


          

刊名:Металлы
作者:М. М. Хрущов
А. П. Семенов
А. А. Сорокко
刊号:751P0017
ISSN:0869-5733
出版年:2007
年卷期:2007, no.3
页码:85-93
总页数:9
分类号:TF0; TG
语种:rus
文摘:Проведено структурное исследование покрытий на основе титана и хрома, нанесенных методом электронно-плазменного напыления в активной газовой среде, состоящей из N{sub}2, CO{sub}2, C{sub}2H{sub}2 и их двойных смесей (50:50). На основе данных о фазовом составе анализируются условия взаимодействия осаждаемого металла с газовой средой. Показано, что они значительно жестче, чем в процессах газового насыщения в печных условиях. Как следствие, соответствующие реакции для активных газов на поверхности покрытия идут до конца, а условия фазовых равновесий при образовании покрытий оказываются смещенными для данной температуры напыления в область более высоких давлений активного газа.